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 Interface Optimization and Modulation of Leakage Current Conduction Mechanism of Yb2O3/GaSb MOS Capacitors with ALD-Driven Laminated Interlayers ALD驱动叠层夹层Yb2O3/GaSb MOS电容器的界面优化和漏电流传导机制调制
相关领域
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期刊：ACS Applied Electronic Materials 作者：Lin Hao; Gang He; Ganhong Zheng; Qian Gao; Lesheng Qiao; et al 出版日期：2021-02-10 |
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