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标题
Interface Optimization and Modulation of Leakage Current Conduction Mechanism of Yb2O3/GaSb MOS Capacitors with ALD-Driven Laminated Interlayers
ALD驱动叠层夹层Yb2O3/GaSb MOS电容器的界面优化和漏电流传导机制调制
相关领域
材料科学 电容器 光电子学 原子层沉积 晶体管 泄漏（经济） 氧化物 半导体 X射线光电子能谱 图层（电子） 电压 纳米技术 电气工程 冶金 化学工程 宏观经济学 经济 工程类
网址
https://doi.org/10.1021/acsaelm.0c00988
DOI
10.1021/acsaelm.0c00988 doi
其它 期刊：ACS Applied Electronic Materials
作者：Lin Hao; Gang He; Ganhong Zheng; Qian Gao; Lesheng Qiao; et al
出版日期：2021-02-10
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