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 Study on the kinetics of standalone Si micro-pyramid formation using tetra methyl ammonium hydroxide as etchant 四甲基氢氧化铵作为蚀刻剂的独立硅微锥形成动力学研究
相关领域
材料科学
氢氧化铵
蚀刻（微加工）
动力学
扫描电子显微镜
平面的
形态学（生物学）
硅
棱锥（几何）
各向异性
化学工程
分析化学（期刊）
纳米技术
复合材料
光电子学
光学
几何学
化学
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数学
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计算机图形学（图像）
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物理
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工程类
图层（电子）
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Shreyan Mondal; Pranav Sairam Kalaga; P.S Sankara Rama Krishnan; D. S. Ang 出版日期：2023-01-26 |
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