Digital etching of AlGaN/GaN heterostructures with GaN cap using inductively coupled oxygen plasma process combined with wet chemical treatment

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标题	Digital etching of AlGaN/GaN heterostructures with GaN cap using inductively coupled oxygen plasma process combined with wet chemical treatment 采用电感耦合氧等离子体工艺结合湿化学处理的GaN帽AlGaN/GaN异质结构数字刻蚀相关领域材料科学感应耦合等离子体异质结蚀刻（微加工）光电子学等离子体氧气过程（计算）干法蚀刻纳米技术图层（电子）化学计算机科学物理有机化学操作系统量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108622
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108622 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Jong-Hee Kim; Hyeon‐Cheol Kim; Hyeon-Yeong Jeong; V. Janardhanam; A. Ashok Kumar; et al 出版日期：2024-06-17
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