发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
待确认
  • 文献求助详情
标题
Homoepitaxial GaN micropillar array by plasma-free photo-enhanced metal-assisted chemical etching
相关领域
材料科学 蚀刻（微加工） 反应离子刻蚀 光电子学 各向同性腐蚀 氮化镓 等离子体刻蚀 兴奋剂 干法蚀刻 半导体 光致发光 发光二极管 纳米技术 宽禁带半导体 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001231
DOI
10.1116/6.0001231 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Clarence Chan; Shunya Namiki; Jennifer K. Hite; Michael A. Mastro; S. B. Qadri; et al
出版日期：2021-08-31
求助人
王俊凯的科妍通 在 2025-10-11 21:19:36 发布自内蒙古，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Low-temperature dry etching
  2. Dry etching for pattern transfer
  3. Chromium oxide as a hard mask material better than metallic chromium
  4. Advanced Etching Techniques of LiNbO3 Nanodevices
  5. Plasma chemical etching of silicon in mems - technology
  6. Investigations of dry etching in AlGaInP/GaInP using CCl2F2/Ar reactive ion etching and Ar ion beam ...
  7. Superfine IC geometries: Gas-plasma etching may supplant chemical etching in manufacturing high-perf...
  8. MICROFABRICATION TECHNIQUE BY GAS PLASMA ETCHING METHOD
  9. Electron cyclotron resonance-reactive CH/sub 4//H/sub 2//Ar with constant Ar flow for high etch rate...
  10. Introduction
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 4小时前

    李苗 李苗 Lv47 上传了文件

    待审核 053212_1_accepted_manuscript.pdf (3.2 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 4小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    21:19:41 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    21:19:38 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    21:19:36 已向机器人发送请求

  • 4小时前

    王俊凯的科妍通 王俊凯的科妍通 Lv5 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
英俊的铭的应助被萤火虫88采纳，获得10
刚刚
1秒前
无私的馒头完成签到，获得积分10
2秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
3秒前
淡定成风完成签到，获得积分10
4秒前
CCccc发布了新的文献求助10
4秒前
lnx发布了新的文献求助10
6秒前
huanglu完成签到 ，获得积分10
12秒前
迷你的靖雁完成签到，获得积分10
14秒前
FashionBoy的应助被jjy采纳，获得30
15秒前
斯文的凝珍完成签到，获得积分10
19秒前
19秒前
yimoyafan完成签到，获得积分10
21秒前
dwx0529发布了新的文献求助10
22秒前
24秒前
moiumuio完成签到，获得积分10
25秒前
25秒前
天天快乐的应助被自由凌波采纳，获得10
29秒前
蘇q发布了新的文献求助10
30秒前
jjy发布了新的文献求助30
32秒前
34秒前
虞美人完成签到 ，获得积分10
34秒前
38秒前
爱壹帆完成签到，获得积分10
41秒前
勤勤恳恳写论文完成签到 ，获得积分10
42秒前
Carol发布了新的文献求助10
43秒前
自由凌波完成签到，获得积分10
44秒前
44秒前
46秒前
自由凌波发布了新的文献求助10
47秒前
edward发布了新的文献求助10
50秒前
51秒前
52秒前
Ava的应助被科研通管家采纳，获得10
54秒前
starry发布了新的文献求助10
55秒前
李爱国的应助被PPD采纳，获得10
55秒前
yaya完成签到 ，获得积分10
59秒前
Amelia完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
灯露发布了新的文献求助10
1分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Zur lokalen Geoidbestimmung aus terrestrischen Messungen vertikaler Schweregradienten 1000
Schifanoia : notizie dell'istituto di studi rinascimentali di Ferrara : 66/67, 1/2, 2024 1000
Circulating tumor DNA from blood and cerebrospinal fluid in DLBCL: simultaneous evaluation of mutations, IG rearrangement, and IG clonality 500
Food Microbiology - An Introduction (5th Edition) 500
Laboratory Animal Technician TRAINING MANUAL WORKBOOK 2012 edtion 400
Progress and Regression 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4851329
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4150189
关于积分的说明 12856498
捐赠科研通 3898038
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2142319
邀请新用户注册赠送积分活动 1162103
关于科研通互助平台的介绍 1062102
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通