Micro-optics: enabling technology for illumination shaping in optical lithography

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标题	Micro-optics: enabling technology for illumination shaping in optical lithography 微光学：光学光刻中照明整形的使能技术相关领域平版印刷术光学材料计算机科学光学浸没式光刻光学工程集成光学光刻自适应光学计算光刻光电子学材料科学多重图案抵抗物理纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2046116
DOI	10.1117/12.2046116 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Reinhard Voelkel 出版日期：2014-03-31
求助人	Alan 在 2025-09-09 09:29:56 发布自上海，悬赏 20 积分
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