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Effects of deposition parameters on properties of high resistance CrSi-based thin-film resistors
沉积参数对高阻CrSi基薄膜电阻器性能的影响
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期刊:International Journal of Modern Physics B 作者:Hsien-Wei Tseng; David Jui-Yang Feng; Chi-Lun Li; Cheng-Fu Yang 出版日期:2021-01-06 |
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