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 Atomic scale controlled tunnel oxide enabled by a novel industrial tube‐based PEALD technology with demonstrated commercial TOPCon cell efficiencies > 24% 基于新型工业管的PEALD技术实现了原子级受控隧道氧化物，已证明商用TOPCon电池效率>24%
相关领域
原子层沉积
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等离子体增强化学气相沉积
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期刊：Progress in Photovoltaics 作者：Baochen Liao; Wei Wu; Reuben J. Yeo; Xinyuan Wu; Sheng Ma; et al 出版日期：2022-09-30 |
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