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 Magnetized, radiofrequency-driven hollow cathode chemical-vapor deposition of ultrathick hydrogenated amorphous carbon 相关领域
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：John S. Miller; L. B. Bayu Aji; S. O. Kucheyev; S. Falabella 出版日期：2025-11-24 |
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(2025-6-4)
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