Influence of internal stress and layer thickness on the formation of hydrogen induced thin film blisters in Mo/Si multilayers

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标题	Influence of internal stress and layer thickness on the formation of hydrogen induced thin film blisters in Mo/Si multilayers
网址	https://research.utwente.nl/files/30564040/influence.pdf
DOI	10.1088/1361-6463/aaad86 doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：R.A.J.M. van den Bos; J. Reinink; D. Lopaev; Christopher J. Lee; J. Benschop; et al 出版日期：2018-02-22
求助人	Y-CityU 在 2026-07-29 22:52:32 发布自中国香港，悬赏 10 积分
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