Efficient ion-slicing of 4-inch GaAs thin film for Si-based hetero-integration with ultra-smooth surface

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标题	Efficient ion-slicing of 4-inch GaAs thin film for Si-based hetero-integration with ultra-smooth surface 用于超光滑表面硅基异质集成的4英寸GaAs薄膜的高效离子切片相关领域材料科学薄膜切片退火（玻璃）基质（水族馆）图层（电子）离子光电子学抛光离子注入纳米技术复合材料化学机械工程海洋学有机化学地质学工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s40843-022-2135-y
DOI	10.1007/s40843-022-2135-y doi
其它	期刊：Science China. Materials 作者：Junqiang Sun; Jiajie Lin; Tiantian Jin; Chaodan Chi; Min Zhou; et al 出版日期：2022-07-21
求助人	yuxin 在 2024-04-15 14:04:54 发布自广东，悬赏 10 积分
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