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High-order mode bulk acoustic wave resonators based on polarity-inverted SiAlN/AlN multilayered films for high-frequency operation
基于极性反转SiAlN/AlN多层膜的高频工作高阶模体声波谐振器
相关领域
材料科学
谐振器
压电
极性(国际关系)
光电子学
机电耦合系数
插入损耗
Crystal(编程语言)
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遗传学
生物
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期刊:Applied physics letters 作者:Jun Sekimoto; Masashi Suzuki; Shoji Kakio 出版日期:2022-10-03 |
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