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Jones pupil metrology of lithographic projection lens and its optimal configuration in the presence of error sources
光刻投影透镜的Jones光瞳计量及其存在误差源时的优化配置
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期刊:Optics express 作者:Zejiang Meng; Sikun Li; Xiangzhao Wang; Bojun Yang; Jian Wang; et al 出版日期:2019-02-08 |
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