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Single crystalline β-Ga2O3 homoepitaxial films grown by MOCVD MOCVD法生长β-Ga2O3同质外延单晶薄膜
相关领域
金属有机气相外延
半最大全宽
化学气相沉积
材料科学
晶格常数
镓
外延
衍射
薄膜
基质(水族馆)
分析化学(期刊)
结晶学
均方根
发光
表面粗糙度
化学
纳米技术
光学
光电子学
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| 其它 |
期刊:Vacuum 作者:Zeming Li; Teng Jiao; Jiaqi Yu; Daqiang Hu; Yuanjie Lv; et al 出版日期:2020-05-04 |
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