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Quantification of nitrogen in heavily doped silicon carbide by soft X-ray emission spectroscopy
软X射线发射光谱法定量重掺杂碳化硅中的氮
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网址
https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2023.127345
DOI
10.1016/j.jcrysgro.2023.127345 doi
其它 期刊：Journal of Crystal Growth
作者：Sakiko Kawanishi; Takeshi Mitani; Masaru Takakura; Takeshi Yoshikawa; Hiroyuki Shibata
出版日期：2023-06-26
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万能图书馆 在 2025-12-03 18:39:29 发布自福建，悬赏 10 积分
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