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标题
Al2O3 Ultra-Thin Films Deposited by PEALD for Rubidium Optically Pumped Atomic Magnetometers with On-Chip Photodiode
相关领域
原子层沉积 铷 材料科学 折射率 薄膜 X射线光电子能谱 硅 光电子学 分析化学（期刊） 纳米技术 化学 核磁共振 色谱法 钾 冶金 物理
网址
https://www.mdpi.com/2079-6412/13/3/638/pdf?version=16790615...
AI链接 mdpi.com mdpi.com handle.netdoi.org
DOI
10.3390/coatings13030638 doi
其它 期刊：Coatings
作者：Florival M. Cunha; M. F. Silva; Nuno Gomes; J. H. Correia
出版日期：2023-03-17
求助人
zzz 在 2026-01-09 19:23:53 发布自天津，悬赏 10 积分
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