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标题
Effect of heat treatment on the thermal stability and properties evolution of TiAlPN thin film prepared by reactive HiPIMS
热处理对反应性HiPIMS制备TiAlPN薄膜热稳定性和性能演变的影响
相关领域
材料科学 薄膜 拉曼光谱 退火（玻璃） 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 氩 热稳定性 腐蚀 分析化学（期刊） 复合材料 溅射 化学工程 纳米技术 光学 化学 物理 工程类 有机化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2023.128747
DOI
10.1016/j.matchemphys.2023.128747 doi
其它 期刊：Materials Chemistry and Physics
作者：Olayinka Oluwatosin Abegunde; M. Makha; Hicham Larhlimi; Mohamed Lahouij; Nassima Jaghar; et al
出版日期：2023-12-01
求助人
Miao 在 2025-07-15 14:41:14 发布，悬赏 10 积分
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