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Effect of heat treatment on the thermal stability and properties evolution of TiAlPN thin film prepared by reactive HiPIMS

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作者
Olayinka Oluwatosin Abegunde,M. Makha,Hicham Larhlimi,Mohamed Lahouij,Nassima Jaghar,Youssef Samih,Heinz Busch,Jones Alami
出处
期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
日期：2023-12-01 卷期号：313: 128747-128747
标识
DOI：10.1016/j.matchemphys.2023.128747
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