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Effect of heat treatment on the thermal stability and properties evolution of TiAlPN thin film prepared by reactive HiPIMS

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作者
Olayinka Oluwatosin Abegunde,M. Makha,Hicham Larhlimi,Mohamed Lahouij,Nassima Jaghar,Youssef Samih,Heinz Busch,Jones Alami
出处
期刊:Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
卷期号:313: 128747-128747 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.matchemphys.2023.128747

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