13.5nm femtosecond laser damage behaviors of EUV multilayer mirrors

已完结

文献求助详情

标题	13.5nm femtosecond laser damage behaviors of EUV multilayer mirrors 13.5 nm飞秒激光对极紫外多层反射镜的损伤行为相关领域极紫外光刻飞秒材料科学激光器光电子学光学物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.3056325
DOI	10.1117/12.3056325 doi
其它	期刊：作者：Yuanan Zhao; Jiaoling Zhao; Xiaoran Li; Lu Zhan; Jiahao Li; et al 出版日期：2025-06-03
求助人	阳光总在风雨后在 2025-06-17 23:35:05 发布自上海，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 领导范儿的应助被wuhan_wuhan采纳，获得10

刚刚; godblessyou发布了新的文献求助10

2秒前; 药药55发布了新的文献求助10

3秒前; lux完成签到，获得积分10

4秒前; 缥缈的黑米完成签到，获得积分20

4秒前; 饱满书包完成签到，获得积分10

9秒前; 领导范儿上传了应助文件

11秒前; wuhan_wuhan完成签到，获得积分20

11秒前; 无花果的应助被随心所欲采纳，获得10

11秒前; wuhan_wuhan发布了新的文献求助10

14秒前; Orange上传了应助文件

17秒前; 妮妮完成签到，获得积分10

21秒前; wongcong发布了新的文献求助10

22秒前; 核桃上传了应助文件

22秒前; 帅气的樱桃完成签到，获得积分10

24秒前; 科研通AI5的应助被Yong采纳，获得10

24秒前; 彩虹儿的应助被小豆包采纳，获得10

25秒前; 哈哈完成签到，获得积分10

27秒前; bkagyin的应助被lux采纳，获得10

27秒前; 蒹葭完成签到，获得积分10

29秒前; 想吃桔子完成签到，获得积分10

29秒前; 共享精神上传了应助文件

31秒前; 科研通AI5上传了应助文件

32秒前; 核桃上传了应助文件

34秒前; 小小怪完成签到，获得积分10

36秒前; jdcs发布了新的文献求助30

36秒前; Yong发布了新的文献求助10

37秒前; 星辰大海上传了应助文件

41秒前; 希望天下0贩的0的应助被LXY171采纳，获得10

43秒前; 沉默的奇异果完成签到，获得积分20

43秒前; 钱仙人完成签到，获得积分10

46秒前; 黎明森发布了新的文献求助10

46秒前; 核桃上传了应助文件

48秒前; 万能图书馆的应助被哈哈采纳，获得10

52秒前; Yong完成签到，获得积分10

52秒前; 酷波er的应助被yu采纳，获得10

52秒前; 李健的粉丝团团长的应助被黎明森采纳，获得10

55秒前; 我是老大上传了应助文件

56秒前; 可爱的函函上传了应助文件

57秒前; 魁梧的易形完成签到，获得积分10

57秒前