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13.5nm femtosecond laser damage behaviors of EUV multilayer mirrors

极紫外光刻 飞秒 材料科学 激光器 光电子学 光学 物理
作者
Yuanan Zhao,Jiaoling Zhao,Xiaoran Li,Lu Zhan,Jiahao Li,Yunqi Peng,Jianda Shao
标识
DOI：10.1117/12.3056325
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