Highly elastic hard PECVD TiSiC:H/a-SiC:H coatings with enhanced erosion and corrosion resistance: The trampoline effect

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标题	Highly elastic hard PECVD TiSiC:H/a-SiC:H coatings with enhanced erosion and corrosion resistance: The trampoline effect 具有增强冲蚀和耐腐蚀性的高弹性硬质PECVD TiSiC：H/a-SiC：H涂层：蹦床效应相关领域材料科学腐蚀弹性后坐力检测弹性模量复合材料等离子体增强化学气相沉积摩擦学涂层弹性能冶金薄膜纳米技术硅量子力学物理
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002423
DOI	10.1116/6.0002423 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Salim Hassani; Duanjie Li; L. Martinů; Jolanta-Ewa Klemberg-Sapieha 出版日期：2023-06-20
求助人	大银耳汤在 2025-06-10 07:37:26 发布，悬赏 10 积分
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