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 Recrystallization behavior, oxygen vacancy and photoluminescence performance of sputter-deposited Ga2O3 films via high-vacuum in situ annealing 高真空原位退火溅射沉积Ga2O3薄膜的再结晶行为、氧空位和光致发光性能
相关领域
材料科学
退火（玻璃）
光致发光
无定形固体
微观结构
再结晶（地质）
溅射沉积
结晶度
空位缺陷
分析化学（期刊）
纳米晶材料
原位
溅射
化学工程
薄膜
结晶学
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期刊：Ceramics International 作者：Haiyan Wang; Chunmei Tang; Weijia Yang; Jingjing Zhao; Lihua Liu; et al 出版日期：2021-10-22 |
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