Effect of sputtering power on the properties of SiO2 films grown by radio frequency magnetron sputtering at room temperature

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标题	Effect of sputtering power on the properties of SiO2 films grown by radio frequency magnetron sputtering at room temperature
网址	http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s11082-020-0263...
DOI	10.1007/s11082-020-02639-4 doi
其它	期刊：Optical and Quantum Electronics 作者：Changjiang Zhao; Leran Zhao; Juncheng Liu; Zhigang Liu; Yan Chen 出版日期：2021-01-02
求助人	鸡狗不如在 2026-05-21 13:13:56 发布自河北，悬赏 10 积分
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Institute for Operations Research and the Management Sciences

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