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 Ion implanter performance improvement for boron doping by using boron trifluoride (BF<inf>3</inf>) and hydrogen (H<inf>2</inf>) mixture gases 使用三氟化硼(BF
相关领域
硼
三氟化硼
材料科学
分析化学（期刊）
物理
化学
有机化学
催化作用
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期刊： 作者：Ying Tang; Oleg Byl; Young-Ha Yoon; Sharad Yedave; B.T. Tien; et al 出版日期：2014-06-01 |
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