Study on surface modification of 4H-SiC wafers induced by nanosecond laser

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标题	Study on surface modification of 4H-SiC wafers induced by nanosecond laser 相关领域薄脆饼纳秒材料科学激光器表面改性光电子学曲面（拓扑）纳米技术光学机械工程工程类物理数学几何学
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2025.113567
DOI	10.1016/j.optlastec.2025.113567 doi
其它	期刊：Optics and Laser Technology 作者：Liang Zhang; Yu Zhu; Kaiming Yang; Jiong Zhou; Jing Chen 出版日期：2025-07-16
求助人	otto12306 在 2026-01-11 14:38:51 发布自河北，悬赏 10 积分
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