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标题
Low-Temperature Thin Film Encapsulation for MEMS With Silicon Nitride/Chromium Cap
相关领域
材料科学 微电子机械系统 制作 氮化硅 光电子学 硅 聚焦离子束 氮化物 绝缘体上的硅 双层 纳米技术 图层（电子） 离子 量子力学 医学 病理 膜 替代医学 遗传学 物理 生物
网址
https://doi.org/10.1109/jsen.2023.3289594
AI链接 ieee.orgdoi.org
DOI
10.1109/jsen.2023.3289594 doi
其它 期刊：IEEE Sensors Journal
作者：Anna Persano; Alvise Bagolini; Jacopo Iannacci; David Novel; A. Campa; et al
出版日期：2023-06-30
求助人
走你 在 2026-01-12 14:50:40 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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