Influence of collision processes in the sheath on ion energy distribution functions in radio frequency discharges

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标题	Influence of collision processes in the sheath on ion energy distribution functions in radio frequency discharges 鞘层碰撞过程对射频放电中离子能量分布函数的影响相关领域碰撞碰撞频率无线电频率离子能量分配能量（信号处理）原子物理学物理计算物理学计算机科学电信量子力学计算机安全
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-abstract/43/3/033007/33...
DOI	10.1116/6.0004221 doi
求助人	linannan 在 2025-05-29 15:58:30 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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