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 Preparation of MgO doped colloidal SiO2 abrasive and their chemical mechanical polishing performance on c-, r- and a-plane sapphire substrate MgO掺杂胶体SiO2磨料的制备及其在c、r和A面蓝宝石衬底上的化学机械抛光性能
相关领域
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期刊：Ceramics International 作者：Da Yin; Xinhuan Niu; Kai Zhang; Jianchao Wang; Yaqi Cui 出版日期：2018-05-12 |
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