Preparation of Composite Spherical Alumina Nanoparticles and Study on their CMP Performance

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标题	Preparation of Composite Spherical Alumina Nanoparticles and Study on their CMP Performance 复合球形氧化铝纳米粒子的制备及其CMP性能研究相关领域材料科学化学机械平面化扫描电子显微镜纳米复合材料复合数泥浆复合材料基质（水族馆）粒径粒子（生态学）相（物质）纳米降水纳米颗粒化学工程集聚经济纳米技术抛光气象学有机化学化学工程类地质学物理海洋学
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.562-565.869
DOI	10.4028/www.scientific.net/kem.562-565.869 doi
其它	期刊：Key engineering materials 作者：Li Tian; Zong Tao Zhang; Jing Zhang; Qiu Xia Sun; Xiao Lin Jia 出版日期：2013-07-01
求助人	云末在 2025-04-16 11:58:36 发布自陕西，悬赏 30 积分
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