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 Medusa 82—Hydrogen silsesquioxane based high sensitivity negative-tone resist with long shelf-life and grayscale lithography capability 基于美杜莎82-氢倍半硅氧烷的具有长保质期和灰度光刻能力的高灵敏度负色调抗蚀剂
相关领域
倍半硅氧烷氢
抵抗
倍半硅氧烷
材料科学
背景（考古学）
纳米技术
电子束光刻
涂层
平版印刷术
光电子学
聚合物
图层（电子）
复合材料
生物
古生物学
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| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Mandy Grube; Benjamin Schille; Matthias Schirmer; Maik Gerngroß; Uwe Hübner; et al 出版日期：2021-01-01 |
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