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Research on the surface damage of Si+ and H+ co-implanted 6H-SiC before and after annealing
Si+和H+共注入6H-SiC退火前后表面损伤的研究
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期刊:Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 作者:Wenhui Dong; Qiang Shen; Mingyan Wei; Penghui Lei; Lin Song; et al 出版日期:2023-05-01 |
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