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标题
Plasma-enhanced atomic layer deposition of AlPO 4 /AlP x O y : comparing dual source and supercycle approaches for composition control
网址
http://dx.doi.org/10.1039/d5dt02282g
DOI
10.1039/d5dt02282g doi
其它 期刊：Dalton Transactions
作者：Florian Preischel; David Zanders; Jean-Pierre Glauber; Karl Rönnby; Detlef Rogalla; et al
出版日期：2025-01-01
求助人
甜甜千兰 在 2026-10-10 13:52:45 发布自英国，悬赏 10 积分
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    秋风 秋风 Lv12 上传了文件

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  • 10小时前

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    13:52:49 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    13:52:45 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
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  • 10小时前

    甜甜千兰 甜甜千兰 Lv5 求助人 发起了本次求助

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