Silicon implantation and annealing in β-Ga2O3: Role of ambient, temperature, and time

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标题	Silicon implantation and annealing in β-Ga2O3: Role of ambient, temperature, and time
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/5.01849...
DOI	10.1063/5.0184946 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：K. Gann; N. Pieczulewski; C. Gorsak; K. Heinselman; T. Asel; et al 出版日期：2024-01-05
求助人	憨憨在 2026-11-02 12:01:00 发布自上海，悬赏 10 积分
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