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Growth chemistry and electrical performance of ultrathin alumina formed by area selective vapor phase infiltration
区域选择性气相渗透法制备超薄氧化铝的生长、化学及电学性能
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期刊:Microelectronic engineering 作者:Matthew Snelgrove; Caitlin McFeely; Greg Hughes; Conan Weiland; J. C. Woicik; et al 出版日期:2022-10-01 |
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