Dynamic electrical response and discharge mode transitions in CF4/Ar capacitively coupled plasmas with automatic matching networks

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标题	Dynamic electrical response and discharge mode transitions in CF4/Ar capacitively coupled plasmas with automatic matching networks
网址	https://doi.org/10.1063/5.0323169
DOI	10.1063/5.0323169 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Pan Zhao; Shimin Yu; Yu Wang; Jingwen Xu; Hongyu Wang; et al 出版日期：2026
求助人	雪白的金毛在 2026-06-22 11:33:12 发布自荷兰，悬赏 10 积分
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