Synergistic optimization of plasma uniformity and active species density in MPCVD systems: A study based on multiphysics simulation and response surface methodology

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标题	Synergistic optimization of plasma uniformity and active species density in MPCVD systems: A study based on multiphysics simulation and response surface methodology
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2026.115568
DOI	10.1016/j.vacuum.2026.115568 doi
其它	- 期刊：Vacuum（Elsevier，真空领域 SCI 期刊） - 卷期：Volume 253，2026 年 10 月，文章编号：115568 - DOI：10.1016/j.vacuum.2026.115568 - 作者：袁刚，朱军魁，明森，彭国玲等
求助人	怡然又亦在 2026-09-02 19:14:47 发布自贵州，悬赏 10 积分
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