Ultrathin sputtered silver films protected by ALD alumina: Comparison of in-situ investigation with ex-situ resistance and ellipsometric measurements

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标题	Ultrathin sputtered silver films protected by ALD alumina: Comparison of in-situ investigation with ex-situ resistance and ellipsometric measurements
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110669
DOI	10.1016/j.vacuum.2021.110669 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Alexandr Belosludtsev; Anna Sytchkova; Naglis Kyžas; Ignas Bitinaitis; Rimantas Simniškis; et al 出版日期：2021-10-13
求助人	Marco 在 2026-07-08 10:50:10 发布自江苏，悬赏 10 积分
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