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 A Review of Thin-film Thickness Measurements using Optical Methods 用光学方法测量薄膜厚度的综述
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期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 作者：Jungjae Park; Yong Jai Cho; Won Chegal; Joonyoung Lee; Yoon‐Soo Jang; et al 出版日期：2024-06-22 |
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