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A Review of Thin-film Thickness Measurements using Optical Methods

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作者
Jungjae Park,Yong Jai Cho,Won Chegal,Joonyoung Lee,Yoon‐Soo Jang,Jonghan Jin
出处
期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing [Springer Nature]
日期：2024-06-22 卷期号：25 (8): 1725-1737 被引量：23
标识
DOI：10.1007/s12541-024-00955-3
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