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 CMOS-compatible electrochemical nanoimprint: High throughput fabrication of ordered microstructures on semiconductor wafer by using a glassy carbon mold CMOS兼容电化学纳米压印：使用玻璃碳模具在半导体晶片上高通量制造有序微结构
相关领域
材料科学
薄脆饼
纳米技术
制作
玻璃碳
阴极保护
电催化剂
阳极
电化学
电极
循环伏安法
化学
替代医学
病理
物理化学
医学
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期刊：Electrochimica Acta 作者：Wanshi Sun; Hantao Xu; Lianhuan Han; Chao Wang; Zuoyan Ye; et al 出版日期：2023-06-04 |
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