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标题
CMOS-compatible electrochemical nanoimprint: High throughput fabrication of ordered microstructures on semiconductor wafer by using a glassy carbon mold
CMOS兼容电化学纳米压印：使用玻璃碳模具在半导体晶片上高通量制造有序微结构
相关领域
材料科学 薄脆饼 纳米技术 制作 玻璃碳 阴极保护 电催化剂 阳极 电化学 电极 循环伏安法 化学 医学 病理 物理化学 替代医学
网址
https://doi.org/10.1016/j.electacta.2023.142700
DOI
10.1016/j.electacta.2023.142700 doi
其它 期刊：Electrochimica Acta
作者：Wanshi Sun; Hantao Xu; Lianhuan Han; Chao Wang; Zuoyan Ye; et al
出版日期：2023-06-04
求助人
迷你的以珊 在 2025-08-25 22:24:15 发布，悬赏 10 积分
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