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标题
Etching with atomic precision by using low electron temperature plasma
低电子温等离子体原子精度蚀刻
相关领域
蚀刻（微加工） 等离子体 等离子体刻蚀 温度电子 材料科学 原子物理学 电子 纳米技术 物理 核物理学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6463/aa7357
DOI
10.1088/1361-6463/aa7357 doi
其它 期刊：Journal of Physics D Applied Physics
作者：L. Dorf; J-C Wang; Shahid Rauf; Gonzalo Monroy; Y. Zhang; et al
出版日期：2017-06-19
求助人
querido 在 2025-09-17 16:08:33 发布自浙江，悬赏 10 积分
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