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 学位论文 面向多轴干涉镜组装配的测量光轴平行度调控技术研究 |
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面向多轴干涉镜组装配的测量光轴平行度调控技术研究 陈哲 哈尔滨工业大学 摘要：激光外差干涉测量技术具有测量精度高、测量范围广、信噪比高以及可溯源等优点,在超精密装备加工制造、超精密计量测试等领域得到了广泛的应用。随着我国科学技术的发展,以激光外差干涉测量技术为核心的光刻机技术的发展以及空间引力波的探测都成为了当下研究应用的热点,而外差干涉仪的精度的提高是制约当下科技发展的重大难点,其中由测量光轴不平行所引起的测量误差是影响外差干涉仪精度的一个重要因素。因此研究外差干涉仪测量光轴的平行度对激光外差干涉仪的应用和发展至关重要。 本文深入分析了外差干涉仪测量光轴不平行所引起的余弦误差和干涉信号质量下降影响测量精度的问题,提出一种多轴干涉仪测量光轴平行度负反馈控制方法,在保障干涉信号质量的同时,提高测量光轴平行度进而提高测量精度,本文主要研究工作如下: 针对测量光轴平行度影响外差干涉仪测量精度的问题,建立测量光轴与测量反射镜运动方向不平行所引起余弦误差的模型,以及测量光轴和参考光轴合光不平行所导致干涉信号质量下降的模型,解析测量光轴不平行与测量精度之间的影响机理,为测量光轴平行度负反馈控制系统设计提供相应的理论基础。 针对当下在对多轴干涉镜组装配过程中缺少高精度光轴平行度... 更多 关键词： 测量光轴平行度;外差干涉仪;干涉信号质量;负反馈调节; 专辑： 基础科学;工程科技Ⅱ辑;信息科技 专题： 物理学;仪器仪表工业;无线电电子学 DOI： 10.27061/d.cnki.ghgdu.2023.002271 分类号： TN247;TH74 导师： 杨宏兴 学科专业： 电子信息（专业学位） 硕士电子期刊出版信息： 年期：2025年第04期 网络出版时间：2025-03-16—2025-04-15 |
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(2025-6-4)
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