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标题
Analysis of stress in sputter-deposited films using a kinetic model for Cu, Ni, Co, Cr, Mo, W
Cu,Ni,Co,Cr,Mo,W溅射沉积薄膜应力的动力学模型分析
相关领域
动能 溅射 材料科学 压力(语言学) 曲率 薄脆饼 沉积(地质) 粒子(生态学) 薄膜 冶金 纳米技术 数学 物理 几何学 语言学 哲学 量子力学 沉积物 生物 海洋学 地质学 古生物学
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2022.156000 doi
其它 期刊:Applied surface science
作者:Tong Su; Zhaoxia Rao; Sarah Berman; Diederik Depla; Eric Chason
出版日期:2023-03-01
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Naruto 在 2024-05-23 21:03:50 发布自日本,悬赏 10 积分
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