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 Electrochemical Anodization of 2-nm-Thick Tantalum Films for Self-Assembling of Molecularly Thick Layer as a Barrier for Copper 2 nm厚钽膜的电化学阳极氧化自组装厚分子层作为铜的阻挡层
相关领域
材料科学
阳极氧化
阻挡层
单层
化学工程
钽
图层（电子）
钝化
扩散阻挡层
铜
粘附
纳米技术
复合材料
铝
冶金
工程类
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期刊：Journal of the Electrochemical Society 作者：Giin-Shan Chen; An-Chi Cho; Sung-Te Chen; Yen‐Chin Chen 出版日期：2020-07-17 |
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