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标题
Study of Through Glass Via (TGV) Using Bessel Beam, Ultrashort Two-Pulses of Laser and Selective Chemical Etching
利用贝塞尔光束、超短双脉冲激光和选择性化学蚀刻技术研究玻璃通孔(TGV)
相关领域
激光器 吸收(声学) 材料科学 皮秒 蚀刻(微加工) 激发 光学 光电子学 纳米技术 物理 图层(电子) 量子力学 复合材料
网址
DOI
10.3390/mi14091766 doi
其它 期刊:Micromachines
作者:Jonghyeok Kim; Sŭng-il Kim; Byungjoo Kim; Jiyeon Choi; Sanghoon Ahn
出版日期:2023-09-14
求助人
崔迎松 在 2024-05-07 09:20:11 发布自中国,悬赏 10 积分
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