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标题
Micropattern measurement with an atomic force microscope
用原子力显微镜测量微图案
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DOI
10.1116/1.585483 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena
作者:Tôru Fujii; Michiko Suzuki; M. Miyashita; Masataka Yamaguchi; Tetsuji Onuki; et al
出版日期:1991-03-01
求助人
taowang 在 2025-06-10 11:35:04 发布自吉林,悬赏 10 积分
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