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![]() 用原子力显微镜测量微图案
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者:Tôru Fujii; Michiko Suzuki; M. Miyashita; Masataka Yamaguchi; Tetsuji Onuki; et al 出版日期:1991-03-01 |
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