Adsorption and surface diffusion of silicon growth species in silicon carbide chemical vapour deposition processes studied by quantum-chemical computations

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标题	Adsorption and surface diffusion of silicon growth species in silicon carbide chemical vapour deposition processes studied by quantum-chemical computations
网址	http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s00214-013-1403...
DOI	10.1007/s00214-013-1403-3 doi
其它	期刊：Theoretical Chemistry Accounts 作者：Emil Kalered; Henrik Pedersen; Erik Janzén; Lars Ojamäe 出版日期：2013-10-15
求助人	樊孟在 2026-05-04 21:43:04 发布自广东，悬赏 10 积分
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