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标题
Crack-free and reliable lithographical patterning methods on PDMS substrate
PDMS衬底上无裂纹且可靠的光刻图案化方法
相关领域
帕利烯 材料科学 制作 基质(水族馆) 微电子机械系统 X射线光电子能谱 复合材料 聚二甲基硅氧烷 粘附 纳米技术 聚合物 化学工程 医学 海洋学 替代医学 病理 工程类 地质学
网址
DOI
10.1088/0960-1317/23/12/125035 doi
其它 期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering
作者:Namsun Chou; Jinmo Jeong; Sohee Kim
出版日期:2013-11-14
求助人
Lixueyu 在 2024-11-29 17:27:07 发布自浙江,悬赏 10 积分
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