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 Impact of Wire RC Based on High Voltage SCAN Failure Analysis in 10nm Process 基于10nm工艺高压扫描失效分析的导线RC影响
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期刊： 作者：Ghil-Geun Oh; Kim Sijeong; Kyeongju Jin; Shin Young Jung; Brandon Lee 出版日期：2018-07-01 |
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