A high-resolution area-change-based capacitive MEMS tilt sensor

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标题	A high-resolution area-change-based capacitive MEMS tilt sensor 基于面积变化的高分辨率电容式MEMS倾斜传感器相关领域微电子机械系统电容感应倾斜感应器加速度计倾斜（摄像机）小型化电容电气工程噪声地板电子工程灵敏度（控制系统）材料科学工程类声学计算机科学光电子学降噪噪声测量电极机械工程物理化学物理化学操作系统光纤电信
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092442472...
DOI	10.1016/j.sna.2020.112191 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Kang Rao; Huafeng Liu; Xiaoli Wei; Wenjie Wu; Chenyuan Hu; et al 出版日期：2020-07-17
求助人	绿洲在 2024-01-05 15:54:24 发布自河北，悬赏 10 积分
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