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 First Observation of Ultra-high Polarization (~ 108 μC/cm²) in Nanometer Scaled High Performance Ferroelectric HZO Capacitors with Mo Electrodes 纳米级高性能Mo电极铁电HZO电容器超高极化（~108 μ C/cm²）的首次观测
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期刊： 作者：Felix C. Huang; Balreen Saini; Lei Wan; Haidong Lu; Xiao He; et al 出版日期：2023-06-11 |
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